选择真空元件首先要考虑选真空发生方式：喷射式真空发生器或真空泵及其管道系统。真空发生的方式应根据机械手真空吸盘的直径和数量来选择。
一般情况下，如果机械手真空吸盘的数量不是很多，吸盘的直径不是很大，采用喷射式真空发生器发生真空比较经济。因为喷射式真空发生器本身产生真空所需的就是一般的压缩空真空吸盘气，不需要另外装配其它的真空管道。但如果真空耗气量比较大的情况下，如彩色显像管制造企业，采用真空泵比较合理。
机械手真空吸盘提升力的计算公式：
W = (P / 760) X S X t X 1.033
其中: W - 机械手真空吸盘提升力(kgf)
P - 真空压力(mmHg)
S - 吸盘面积(cm2)
T - 安全系数
真空发生方式确定后，要形成机械手真空吸盘机械装置还需要下面必不可少的元件：
1、机械手真空吸盘
2、真空开关
3、真空过滤器
4、真空发生、真空破坏阀
5、真空调压阀
6、真空气缸