1.采用滚动导向方式的顶级高精密工作台。以高精度、高刚性的精密定位工作台LH为基础，装入顶级的滚动导向C-Lube自润滑圆柱滚子直线导轨超级X，彻底追求各部位的精度，实现了接近气动滑台定位精度的定位工作台。 2.通过配备超高精度线性编码器，实现了高定位精度与分解能。通过分解能为0.016µm的超高精度线性编码器直接反馈位置信息，构成全闭环控制，保证了整个形成范围内的定位精度。 3.采用圆柱滚子型直线导轨设备，实现了卓越的行走性能。组合了经过高精度加工、组装的构件与在滚动导向方面可发挥最高行走性能的C-Lube自润滑圆柱滚子直线导轨超级X，因此可获得顶级的行走精度。
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