1.姿势精度高。通过组合高精度加工的零部件和齿条&齿轮内置型交叉滚子直线导轨,实现了5秒以下的自是精度。因移动引起的姿势变化极少,位置的再现性优异。 2.速度稳定性高。通过动作顺畅的交叉滚子直线导轨、无心动磁铁型直线电机、高性能伺服驱动器,进一步提高了速度稳定性。 3.行走精度高。通过对构件进行高精度加工和组装,实现了直线度1µm以下的高行走精度。
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