1.紧凑的XYθ工作台。该校准工作台在直线导轨部使用小型直线导轨设备的直线导轨L,在旋转导轨部使用交叉滚子轴承,在驱动部采用直接驱动方式,实现了低断面的紧凑型XYθ运动。 2.XYθ可自由组合。以直线移动用X工作台和旋转定位部θ工作台作为基本构成,品种齐全。可轻松构建X轴和θ轴的组合及XY轴的校准工作台。 3.薄型、紧凑。无铁芯直线电机和直线导轨L,采用交叉滚子轴承。与滚珠丝杠驱动的工作台相比,实现了极低的断面高度。 4.高分解能、高响应性。通过对内置高分解能线性编码器的直接驱动方式的工作台进行全闭环控制,实现了高分解能和高精度。
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