真空系统中确定主泵的依据是什么?选主泵要考虑两个方面,一是选择主泵的类型,二是确定主泵抽速的大小。下面详细介绍下:
真空系统中确定主泵类型的依据:
1.根据被抽气体的种类,每种气体所占的比例以及气体中所夹杂的灰尘情况。为此,应当对各种真空泵的性能及使用特点进行了解。
2.根据被抽容器所要求达到的极限真空度和工作真空度。一般选取主泵的极限真空度稍高于被抽容器所要求的极限真空度(如高半个数量级)。每一种泵都有其最佳工作压强范围,应保证将被抽容器的工作真空度选在主泵的最佳抽速压强范围内。
3.当两种类型以上的泵都适合选用时,则要根据经济指标来确定主泵。在比较经济指标时,要从整套真空系统来考虑。
在压强低于1.33×104Pa的范围内,油扩散泵抽气系统比较经济。在压强高于13.3Pa的范围内,罗茨泵抽气系统比较经济。所以在选泵过程中应立足于即适用又经济。
在无气镇装置的情况下,该泵只适用于抽除干燥气体、当带有气镇装置时,也可以抽除含有少量水蒸气的气体,不适合抽除有爆炸性的气体,对金属有腐蚀性的气体,以及含有颗粒灰尘的气体。再如油增压泵和油扩散泵,它们都属于油蒸汽流泵。这两种泵对摩尔质量较小的气体(如氢气)抽气能力大,被抽气体中含有少量灰尘和水蒸汽也影响不大。但它们不能将气体直接排到大气中去,必须有前级泵,而且工作前必须有一个预真空环境。这两种泵作为主泵的系统,都会有一定数量的泵油蒸气返流到被抽容器中。
















