真空元件中“极限真空”和“理论真空”，看似挺相似的两个词，他们的含义却是很不相同的，下面介绍下真空元件中极限真空和理论真空的差别，以免混淆。
“极限真空”，表示该状态下，没有任何物质（包括分子、原子等）存在，这只是理论上才存在的状态，实际是不可能达到的。“极限真空”完整名称是“极限真空度”，是指微型真空泵能达到的最大真空度。
“理论真空”就是指最理想的真空状态，比如，某密闭容器中一个气体分子都没有，气体压力绝对等于零，这种状态就是最理想的真空状态，这就是平常说的“理论真空”，仅在理论上存在，实际上不可能存在。
真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
真空元件中极限真空的应用：
“极限真空”是真空泵的一个重要参数，是反应泵抽气能力的特性值，是与真空泵相关的一个数值，不同的真空泵可以有不同的“极限真空”度。而“理论真空”是理论研究时的一个概念，是排除各种实际因素的影响而提炼出的一种最理想的真空状态