真空发生器中低温泵的原理：利用低温表面将气体冷凝以实现抽气的一种泵，用低温介质将抽气面冷却到一定温度(如20k)以下，抽气面就能大量冷凝沸点温度比该抽气面温度高的气体，产生很大的抽气作用。下面介绍下低温泵密封系统失效的原因。
1.真空发生器密封圈功能的失效
旧的机械密封的介质机封使用的是密封圈材质为硅橡胶、辅助密封为丁腈橡胶，由于主密封密封圈的硅橡胶不适合介质(C3～C10)组分，容易造成的溶胀腐蚀，因此造成主密封失效；而辅助密封密封圈用的是丁腈橡胶，其温度适用范围为-30℃～120℃，但是受密封介质成分复杂及工艺波动等原因，工作温度有时一般会低于-30℃，最低可达-52℃度，此时当主密封有微量泄漏时，所泄漏的介质进入甲醇腔，由于进入的介质温度低于丁腈橡胶所能承受的最低温度，从而造成辅助密封圈失效。
2.真空发生器摩擦副端面工况分析
轻烃泵的单端面接触式机械密封，在其密封端面之间并不存在一个完整的液膜。密封端面之间产生的大量摩擦热就会导致密封面温度升高，从而促使端面间液膜汽化，而使液体变成蒸气而发生相变。
3.真空发生器低温轻烃泵抽空造成的失效
a．负压抽空。生产中有时会出现瞬时负压抽空，泵不能输送液体介质，此时密封腔内介质压力低于大气压力，作用在动环背面的闭合力(由弹簧压力和介质压力组成)小于作用在密封端面的开启力(由端面接触压力和流体膜压力组成)，动环将向左产生轴向移动，与静环迅速脱开，由于此时两端面间已是负压，静环在其背部大气压力的作用下可能与防转销脱开，并在其与动环间瞬间摩擦力的带动下旋转一定角度，使得整个密封装置不能复位而失效。
b．正压抽空。正压抽空是指泵腔内的介质工作压力压力高于一个大气压，但密封箱内介质压力或密封端面流体膜压力低于输送温度下介质的饱和蒸气压，使介质在密封箱内或密封端面之间发生汽化的现象。
从真空发生器理论分析着手，寻找这类真空发生器真空泵故障的原因，从而采取相应措施，以期彻底消除事故隐。