真空系统元件设计中的注意事项：
1.真空系统元件的设计应保证排气稳定可靠,安装拆卸维修容易,操作方便,各元件间的连接有互换性。为了达到工作中排气稳定,要求主泵性能稳定,各阀门运转灵活,密封可靠,系统中各元件的接头不漏气,真空室密封性能好,各真空元件连接采用标准尺寸,保证有互换性。在统设计中,原则上讲,每一个封闭管路尺寸应有一个可调尺寸。这个可调尺寸在过去设计中,都采用软管来解决,现在设计系统时,多数不采用软管。而采用提高真空元件加工尺寸精度和利用连接法兰上的密封橡胶圈来解决安装误差,这样可以提高系统强度和刚度,减少用于系统上的支架,更加美观。
2.真空系统元件设计中要采用新技术,做到自动控制和联锁保护。随着真空技术的发展,要求在整个抽气过程中能够进行自动操作,如采用真空继电器控制罗茨泵在1333Pa压强下启动工作。采用水压继电器控制蒸气流泵的水压在某一个压力上,当水压不足或断水时,能够立即断电并发出警报,防止泵被烧坏。对于复杂真空系统和工艺过程及参数要求严格的设备应采用微机程序控制,更加安全可靠。
3.真空系统元件设计中要求做到节省能源,降低成本,使用方便可靠。做到这一点有很大的经济意义,它可使所设计的真空应用设备有广泛的市场销路。