真空的间接测量方法
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发布时间:
2015-01-27
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真空的测量方法主要有:
1.直接测气体压强—U形真空计、麦氏真空计
2.间接测量,非电量电测法:热偶真空计、电离真空计(热阴极、冷阴极)等,本文具体介绍了真空的间接测量方法。
下面主要介绍下间接测量法中电离真空计和热偶真空计的原理:
电离真空计的工作原理:
在低压强气体中,气体分子被电离所产生的正离子数通城是与气体分子密度成正比的。利用这一关系可制成电离真空计,电离真空计测量出离子数就可以测得该空间的压强值。
热偶真空计的工作原理:
利用气体导热性与真空度之间存在的一定关系而制成的热传导真空计。压强越高(真空越低),分子数越多,带走灯丝上热量多,热电偶产生的电动势小。压强越低(真空越高),分子数越少,带走灯丝上热量少,热电偶产生的电动势大。
测量范围:5-0.1pa,当压强大时,气体分子导热与P无关,当压强小时,通过辐射和灯丝的固体导热占主要,这两项与P无关。
应用:
1.在高真空测量中,电离真空计是最主要、最实用的一种。
2.在极高真空测量中,电离真空计是唯一实际可以用的真空计。