气动产品在半导体工业中的应用
前阶段和后阶段
半导体工业中的操作可分为前阶段（薄片加工）和后阶段（测试、装配和包装）。Festo为前阶段提供了大量铝制和不锈钢气缸及多种类型的阀。这些阀可用来控制气缸，也可用来控制气阀门。后阶段的重点在于气动驱动器和阀的小型化。Festo特别设计的小型滑块驱动器有多种直接安装方式和连接件可供选用，因此具有很高的灵活性。智能型立方体阀系列结构紧凑，体积小，可以安装在非常有限的空间里，能满足半导体工业的需求。
无论是采用晶体硅加工还是薄层技术，太阳能电池的生产都是高度自动化的。Festo的气动驱动器和阀能保证这种用于生产太阳能电池的半成品晶片在传送过程中无损伤，对大块玻璃进行操作时非常可靠，并且真空室能按要求紧闭。
在太阳能电池片生产中，气动驱动器还用于控制用于高度敏感涂层操作的气体或液体介质的供应。例如，真空闸门用来控制加工室中气体的进出，而蝶阀和球阀用来调节各种流体介质的流量。
保持清洁－非常简单！
尤其是在半导体行业中，许多生产步骤必须在无尘室条件下进行。生产过程越敏感，所采用的生产方法就必须越能保持清洁！
通过了测试，符合VDI标准
无尘室系统的清洁程度取决于各种因素，例如空气质量、空气流量和现场的人员及设备等。以设备为例，系统采用气动驱动器和阀，它们对生产车间的环境会产生很大的影响。针对这个问题，Festo已经专门开发了一系列适用于无尘室技术的产品。这些产品已通过德国VDI 2083 标准的认证，该标准对可在无尘室中使用的设备进行了明确的规定。
气动产品在电子设备生产中的应用
产品符合标准，质量有保障
在许多电子设备的生产中，很多阶段都要求其所使用的气动自动化装置有非常详细的说明书。比如阴极射线管的生产。为保证产品的质量，该行业的供应商必须确保在他们的产品中只使用符合规定的材料。
不允许使用下列材料，因为它们会降低阴极射线管生产的可靠性和质量：
• 聚四氟乙烯：会损坏阴极射线管，降低其使用寿命。
• 铜：会降低显示屏颜色的质量。在喷涂过程中严格禁止使用。
• 硅：对管子内部涂层所需的均匀性造成很强的破坏作用。
为满足阴极射线管生产企业的要求，Festo提供了一系列不含铜和聚四氟乙烯（CT-free）的产品。为了获得持久的高质量效果，在许多生产阶段不能使用这两种产品。
用于电子行业的气动产品：小巧、精确、快速和干净
气动产品同样可以为典型的装配技术（如电子工业中的抓取应用）提供近乎完美的解决方案。近几年来，Festo针对这种类型的导向运动工序开发了大量的气动驱动器和导向装置。新型的气缸可在一个单元内实现这两种功能，从而简化了系统的结构。为了控制这些驱动装置，Festo开发了新的阀系列，智能型立方体阀CPV/CPA和MH1/MH2，以满足电子行业和机电行业的需要。重点在于缩小产品体积以及与Festo小型驱动器进行精确连接。