随着科学技术的进步，真空检漏技术在航天、航空、电子、核工业等领域的应用越来越广泛，下面介绍下真空检漏技术中便携式气体微流量计的应用。
便携式气体微流量计由供气与抽气系统、定容室与压力测量系统、流量测量系统、烘烤系统等四部分组成。
便携式气体微流量计的特点有以下四点：
1.采用了双小孔、双路流量输出设计，有固定流导法和定容法两种测量模式；
2.采用了NEG泵选择性抽气技术，延伸了流量测量下限；
3.对定容室及抽气系统进行了小型化设计，体积小、质量轻；
4.采用分体式结构，流量计可以拆分，便利于携带。
在真空检漏中，一般用氦质谱检漏仪对微小漏孔的漏率进行定量测量，而氦质谱检漏仪采用一支标准漏孔对漏率定标。标准漏孔的漏率一般在10-8 Pa·m3/s 量级，而氦质谱检漏仪的测量范围约为10-7 Pa·m3/s～10-12 Pa·m3/s，因此在全量程范围内采用示漏气体电离信号线性外推的方法进行测量。