一个系统在正式投入之前一般都要经过冲洗，冲洗的目的就是要清除残留在系统内的污染物、金属屑、纤维化合物、铁心等，下面介绍下电液伺服阀的维护清洗的具体步骤。
伺服阀得冲洗板要使油液能从供油管路流向集流器，并直接返回油箱，这样可以让油液反复流通，以冲洗系统，让油滤滤掉固体颗粒，冲洗过程中，没隔1～2小时要检查一下油滤，以防油滤被污染物堵塞，此时旁路不要打开，若是发现油滤开始堵塞就马上换油滤。
电液伺服阀的维护清洗的具体步骤：
1）用一种易干的清洁溶剂清洗油箱，再用经过过滤的空气清除溶剂残渣。
2）清洗系统全部管路，某些情况下需要把管路和接头进行浸渍。
3）在管路中装油滤，以保护阀的供油管路和压力管路。
4）在集流器上装一块冲洗板以代替精密阀，如电液伺服阀等。
5）检查所有管路尺寸是否合适，连接是否正确。
冲洗的周期由系统的构造和系统污染程度来决定，若过滤介质的试样没有或是很少外来污染物，则装上新的油滤，卸下冲洗板，装上阀工作！