真空泵中离子泵的相关介绍：
构造：强磁铁,蜂窝状阳极,钛(Ti)阴极。
原理：通过溅射现象,使Ti离子化,Ti离子化学反应活性高。和气体分子反应之后生成化合物。
一部分气体分子也离子化之后向阴极加速,使阴极的Ti被溅射后,一部分离子进入阴极内部。
特征：1.能达到超高真空(10-10Pa)
2.需要和其它初段排气泵组合。
3.有一定寿命。
真空发生器它一般由壳体，喷嘴，消声器，和真空表等几部分组成。真空发生器与传统的由马达驱动的真空泵相比较，有一下几个特点：
1.体积小，重量轻，易于安装在狭小的和多震动的空间内
2.无需维护，不像马达驱动的真空泵那样需要定期保养。
3.能源供给是压缩空气，工作时不会发热，并且节约能源。
4.环境适应性强，适合于有腐蚀性和危险性的环境。
5.反应速度快，相应的真空泵反应速度就很慢。这就特别适合不停地频繁启动关闭的场合。
6.品种多。小流量的特别多，有很多流量和真空度选择的余地。最大流量可达11928l/min，最大真空度可达-100.8kPa(-756mmHg)。
7.正常工作温度范围广：-20℃ to +120℃ 8.成本低。相当于同等流量的真空泵价格的三分之一左右。并且存有大量现货。
由于真空发生器是用压缩空气来工作的，这使得在有压缩空气的地方,或在一个气动系统中同时需要正负压的地方获得负压变得十分容易和方便。目前，真空发生器广泛应用在工业自动化中机械,电子,包装,印刷,塑料及机器人等领域。真空发生器的传统用途是吸盘配合,进行各种物料的吸附,搬运,尤其适合于吸附易碎,柔软,薄的非铁,非金属材料或球型物体。在这类 应用中,真空发生器和真空泵一个共同特点是所需的抽气量小,真空度要求不高且为间歇工作。
真空泵要求从密封容器中高速高效地排除气体，以达到产生,改善和维持真空的目的。其工作原理可以分为机械,物理和化学方式。根据要达到的真空度不同,常常需要2种以上的真空泵相组合。
代表的真空泵
１：旋转式机械泵
２：分子泵（ＴＭＰ）
３：离子泵
４：Ti升华泵
５：低温泵