真空压力开关是用于检测真空压力的开关。当真空压力未达到设定值时，开关处于断开状态。当真空压力达到设定值时，开关处于接通状态，发出电信号，指挥真空吸附机构动作。下面介绍下电子式压力开关和机械式压力开关的概述：
电子式真空压力开关（无触点开关）：
根据晶体管的开路或断路进行开或者关。 当负载短路时，过电流会瞬时破坏开关； 开关对误配线没有考虑保护措施，特别要注意电源线和输出线不能接错，否则会破坏开关； 过电压（Surge)发生装置如电磁式升降机、高频感应炉、电机等在开关周围，则会使开关内部元件劣化、寿命降低，应该采取过电压抑制措施，并避免导线混合排布。
ZSE（ISE）电子式压力开关
一般空气用（旋钮调节）：
ZSE（ISE）1 用于ZM真空发生器
ZSM1-115 用于ZM真空发生器
ZSE（ISE）2 用于ZX、ZR真空发生器
一般空气用（按钮调节）：
ZSE（ISE）3 用于ZX真空发生器，自诊断机能，故障预知机能，LCD
ZSE（ISE）4 用于ZL真空发生器，自诊断机能，LCD
ZSE（ISE）4B 用于ZL真空发生器，自诊断机能，LCD，背景灯
ZSE（ISE）4E 用于ZL真空发生器，自诊断机能，自动预设机能，LED
ZSE（ISE）4□D 防尘、防滴型（IP66）
多种流体适用：
ZSE（ISE）5B PT
ZSE（ISE）6B URJ、TSJ（半导体装置使用的接头，泄漏极低）
机械式真空压力开关（有触点开关）：
根据机械接触和非接触进行开或者关，如继电器、微动开关等。
触点：磁性舌簧开关、微动开关
压力传感器：膜片式（低压）、波纹管式和活塞式（高压）
ZSM1-121 磁性舌簧开关、膜片式负压传感器、可用于ZM
IS1000 磁性舌簧开关、活塞式正压开关
IS3000 微动开关、活塞式正压开关
ISG 微动开关、波纹管正压（负压）开关、多种流体适用